Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000

著者

• Seiler, David G.

書誌事項

Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000

editors David G. Seiler ... [et al.]

（AIP conference proceedings, 550）

American Institute of Physics, c2001

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA52082125
• ISBN:
  • 156396967X
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xv, 708 p.
• 大きさ: 28 cm
• 付属資料: 1 computer disk
• 親書誌ID:
  • BA00284604