光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発

Author(s)

• 上田, 隆司 ウエダ, タカシ

Bibliographic Information

光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発

研究代表者 上田隆司

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10年度〜平成11年度）

[上田隆司], 2000.3

Title Transcription

ヒカリ カプラ-ガタ 2ショク オンドケイ ニ ヨル セイギョ キコウ ヲ ソナエタ レーザ ビサイ カコウ システム ノ カイハツ

Note

課題番号 : 10555246

Details

• NCID: BA52121260
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [金沢]
• Pages/Volumes: 24枚
• Size: 29cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701