光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発

著者

• 上田, 隆司 ウエダ, タカシ

書誌事項

光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発

研究代表者 上田隆司

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10年度〜平成11年度）

[上田隆司], 2000.3

タイトル読み

ヒカリ カプラ-ガタ 2ショク オンドケイ ニ ヨル セイギョ キコウ ヲ ソナエタ レーザ ビサイ カコウ システム ノ カイハツ

注記

課題番号 : 10555246

• NII書誌ID(NCID): BA52121260
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [金沢]
• ページ数/冊数: 24枚
• 大きさ: 29cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701