ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフィ技術の開発

著者

• 末宗, 幾夫 スエムネ, イクオ

書誌事項

ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフィ技術の開発

末宗幾夫研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10年度〜平成12年度）

[北海道大学電子科学研究所], 2001.3

タイトル読み

ナノ コウゾウ ヒカリ デバイス サクセイ ノ タメノ AFM デンシ ビーム ケツゴウ リソグラフィ ギジュツ ノ カイハツ

注記

研究課題番号:10555097

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA52177469
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [札幌]
• ページ数/冊数: 78p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701