シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

著者

• 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ

書誌事項

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

研究代表者渡辺征夫

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成4年度）

[九州大学], 1993.3

タイトル別名

平成4年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号:03452094)

タイトル読み

シラン プラズチュウ シリコン ビリュウシ ノセイチョウ キコウ ノ カイメイ

• NII書誌ID(NCID): BA52182695
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 56p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X