シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

Author(s)

• 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ

Bibliographic Information

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

研究代表者渡辺征夫

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成4年度）

[九州大学], 1993.3

Other Title

平成4年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号:03452094)

Title Transcription

シラン プラズチュウ シリコン ビリュウシ ノセイチョウ キコウ ノ カイメイ

Details

• NCID: BA52182695
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: 56p
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN0345591X