超高速デバイス用低干渉III-V族半導体・シリコンヘテロ接合の製作と電子物性制御
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書誌事項
超高速デバイス用低干渉III-V族半導体・シリコンヘテロ接合の製作と電子物性制御
[吉本昌広], 2001.3
- タイトル別名
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平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号11650322)
- タイトル読み
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チョウコウソク デバイスヨウ テイカンショウ III-V ゾク ハンドウタイ シリコンヘテロ セツゴウ ノ セイサク ト デンシ ブッセイ セイギョ
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注記
本文は日本語と英語