熱変形速度制御による超精密研削加工法の開発
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熱変形速度制御による超精密研削加工法の開発
塚本眞也, 2000.4
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平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究C(2))研究成果報告書(課題番号10650115)
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ネツ ヘンケイ ソクド セイギョ ニ ヨル チョウ セイミツ ケンサク カコウホウ ノ カイハツ
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平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究C(2))研究成果報告書
課題番号: 10650115
研究分担者: 中島利勝[ほか]