Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions II : symposium held April 24-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A.
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Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions II : symposium held April 24-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 610）
Materials Research Society, c2001
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注記
Includes bibliographical references and indexes
