極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究

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極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究

（科学研究費補助金基盤研究(B)展開(2)研究成果報告書, 平成10-12年度）

[佐野伸行], 2001.3

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ゴク ビサイ ハンドウタイ ソシ デノ キバン デンリュウ ユラギ ニ トモナウ ソシ ジュミョウ フカクテイセイ ヨクセイ ノ ケンキュウ

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研究代表者: 佐野伸行

研究課題番号: 10555115

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Details

  • NCID
    BA52926307
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [つくば]
  • Pages/Volumes
    162p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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