シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究
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書誌事項
シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11-12年度)
[九州大学], 2001.3
- タイトル別名
-
平成11-12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11450037)
- タイトル読み
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シラン プラズマチュウ ノ Si クラスタ ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
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