シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

著者

• 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ

書誌事項

シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

研究代表者渡辺征夫

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11-12年度）

[九州大学], 2001.3

タイトル別名

平成11-12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11450037)

タイトル読み

シラン プラズマチュウ ノ Si クラスタ ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA53127014
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: ii, 97p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701