シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

Author(s)

• 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ

Bibliographic Information

シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

研究代表者渡辺征夫

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11-12年度）

[九州大学], 2001.3

Other Title

平成11-12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11450037)

Title Transcription

シラン プラズマチュウ ノ Si クラスタ ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ

Details

• NCID: BA53127014
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: ii, 97p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701