赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発

著者

• 東田, 賢二 ヒガシダ, ケンジ

書誌事項

赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発

研究代表者東田賢二

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度）

[九州大学], 2001.3

タイトル別名

平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11555162)

タイトル読み

セイキガイコウ ダンセイホウ オ モチイタ ハンドウタイ ケッショウチュウ ノ コウシ ケッカン ナイブ オウリョク ソノバ カンサツホウ ノ カイハツ

• NII書誌ID(NCID): BA53178773
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 69p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701