Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications

著者

• Helbert, John N.

書誌事項

Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications

edited by John N. Helbert

（Materials science and process technology series）

Noyes Publications/William Andrew Pub., c2001

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA53186705
• ISBN:
  • 0815514441
• LCCN: 00028173
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Norwich, NY
• ページ数/冊数: xxi, 1001 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC21 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
  • LCSH : Microlithography
• 親書誌ID:
  • BA04523161