書誌事項

Chemical mechanical planariarization in IC device manufacturing III : proceedings of the international symposium

editors, R.L. Opila ... [et al.]

(Proceedings / [Electrochemical Society], v. 99-37)

Electrochemical Society, c2000

タイトル別名

Chemical mechanical planarization in integrated circuit device manufacturing III

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  • Proceedings

    [Electrochemical Society]

    Electrochemical Society

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA53257304
  • ISBN
    • 1566772605
  • LCCN
    00100975
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pennington, N. J.
  • ページ数/冊数
    xii, 644 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 親書誌ID
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