走査型プローブ顕微鏡内引張り試験装置の開発によるDLC/パーマロイ薄膜の物性評価

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走査型プローブ顕微鏡内引張り試験装置の開発によるDLC/パーマロイ薄膜の物性評価

田中武司研究代表

[田中武司], 2001.3

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科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

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ソウサガタ プローブ ケンビキョウナイ ヒッパリ シケン ソウチ ノ カイハツ ニヨル DLC パーマロイハクマク ノ ブッセイ ヒョウカ

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Note

平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

参考文献: p51

課題番号: 11650107

Details

  • NCID
    BA53509418
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    51p
  • Size
    30 cm
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