走査型プローブ顕微鏡内引張り試験装置の開発によるDLC/パーマロイ薄膜の物性評価
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書誌事項
走査型プローブ顕微鏡内引張り試験装置の開発によるDLC/パーマロイ薄膜の物性評価
[田中武司], 2001.3
- タイトル別名
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科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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ソウサガタ プローブ ケンビキョウナイ ヒッパリ シケン ソウチ ノ カイハツ ニヨル DLC パーマロイハクマク ノ ブッセイ ヒョウカ
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注記
平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
参考文献: p51
課題番号: 11650107
