Scanning probe lithography

著者

• Soh, Hyongsok T.
• Guarini, Kathryn Wilder
• Quate, Calvin F.

書誌事項

Scanning probe lithography

by Hyongsok T. Soh, Kathryn Wilder Guarini, Calvin F. Quate

（Microsystems / series editor Stephen D. Senturia, [7]）

Kluwer Academic Publishers, c2001

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA53593640
• ISBN:
  • 0792373618
• LCCN: 01029782
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: xxiii, 195 p.
• 大きさ: 25 cm
• 件名:
  • LCSH : Microlithography
  • LCSH : Scanning probe microscopy
• 親書誌ID:
  • BA39071521