フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価

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フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価

研究代表者 田島道夫 ; 研究分担者 藁品正敏

[田島道夫], 1995.9

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フォトルミネッセンス ニ ヨル シリコン ケッショウチュウ ノ ケイゲンソ ジュウキンゾク フジュンブツ ノ ヒョウカ

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Note

平成6年度科学研究費補助金 (一般研究(B)) 研究成果報告書

研究課題番号05452099

Details

  • NCID
    BA53824878
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [相模原]
  • Pages/Volumes
    79 p
  • Size
    30 cm
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