フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価

著者

• 田島, 道夫 タジマ, ミチオ
• 藁品, 正敏 ワラシナ, マサトシ

書誌事項

フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価

研究代表者 田島道夫 ; 研究分担者 藁品正敏

[田島道夫], 1995.9

タイトル読み

フォトルミネッセンス ニ ヨル シリコン ケッショウチュウ ノ ケイゲンソ ジュウキンゾク フジュンブツ ノ ヒョウカ

注記

平成6年度科学研究費補助金 (一般研究(B)) 研究成果報告書

研究課題番号05452099

• NII書誌ID(NCID): BA53824878
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [相模原]
• ページ数/冊数: 79 p
• 大きさ: 30 cm