フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価
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フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価
[田島道夫], 1995.9
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フォトルミネッセンス ニ ヨル シリコン ケッショウチュウ ノ ケイゲンソ ジュウキンゾク フジュンブツ ノ ヒョウカ
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注記
平成6年度科学研究費補助金 (一般研究(B)) 研究成果報告書
研究課題番号05452099