半導体結晶の液相エピタキシャル成長のその場観察

Author(s)

Bibliographic Information

半導体結晶の液相エピタキシャル成長のその場観察

研究代表者 栗林一彦 ; 研究分担者 佐藤英一

[栗林一彦], 1990.3

Title Transcription

ハンドウタイ ケッショウ ノ エキソウ エピタキシャル セイチョウ ノ ソノバ カンサツ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

平成元年度科学研究費補助金 一般研究(B) 研究成果報告書

研究課題番号63460203

Details

  • NCID
    BA53826035
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [相模原]
  • Pages/Volumes
    33 p
  • Size
    26 cm
Page Top