走査ビーム型顕微フォトルミネッセンスによる半導体中不純物・欠陥の高空間分解測定

著者

• 田島, 道夫 タジマ, ミチオ
• 藁品, 正敏 ワラシナ, マサトシ

書誌事項

走査ビーム型顕微フォトルミネッセンスによる半導体中不純物・欠陥の高空間分解測定

研究代表者 田島道夫 ; 研究分担者 藁品正敏 [ほか]

[田島道夫], 1996.9

タイトル読み

ソウサ ビームガタ ケンビ フォトルミネッセンス ニ ヨル ハンドウタイチュウ フジュンブツ ケッカン ノ コウクウカン ブンカイ ソクテイ

注記

平成7年度科学研究助成金 (試験研究(B)) 研究成果報告書

研究課題番号05555005

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA54075517
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [相模原]
• ページ数/冊数: iii, 130 p
• 大きさ: 30 cm