走査ビーム型顕微フォトルミネッセンスによる半導体中不純物・欠陥の高空間分解測定

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走査ビーム型顕微フォトルミネッセンスによる半導体中不純物・欠陥の高空間分解測定

研究代表者 田島道夫 ; 研究分担者 藁品正敏 [ほか]

[田島道夫], 1996.9

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ソウサ ビームガタ ケンビ フォトルミネッセンス ニ ヨル ハンドウタイチュウ フジュンブツ ケッカン ノ コウクウカン ブンカイ ソクテイ

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Note

平成7年度科学研究助成金 (試験研究(B)) 研究成果報告書

研究課題番号05555005

Details

  • NCID
    BA54075517
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [相模原]
  • Pages/Volumes
    iii, 130 p
  • Size
    30 cm
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