ナノエレクトロニクスと計算科学
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書誌事項
ナノエレクトロニクスと計算科学
電子情報通信学会 , コロナ社(発売), 2001.11
- タイトル別名
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Computational science in nanoelectronics
- タイトル読み
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ナノエレクトロニクス ト ケイサン カガク
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内容説明・目次
内容説明
本書は、原子レベルで材料・プロセスを理論設計する際に必要な計算科学の基礎について解説したものである。
目次
- 第１章 はじめに（ナノデバイスと計算科学；「ナノスケールの計算科学的手法」で何が分かるか）
- 第２章 計算方法（経験的原子間ポテンシャル；動的計算手法 ほか）
- 第３章 計算科学によって得られる物質の基本的諸性質（構造安定性；熱力学的安定性 ほか）
- 第４章 ナノエレクトロニクスへの応用（シリコンの酸化現象と酸化膜の膜質向上への原子レベル計算によるアプローチ；エピタキシャル成長への原子レベル計算によるアプローチ）
「BOOKデータベース」 より