MEMS & microsystems : design and manufacture

著者

• Hsu, Tai-Ran

書誌事項

MEMS & microsystems : design and manufacture

Tai-Ran Hsu

McGraw-Hill, c2002

注記

Includes bibliographical references (p. 427-431) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA55106398
• ISBN:
  • 0072393912
• LCCN: 2001044737
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xii, 436 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874.H794
  • DC21 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Microelectronic packaging