Radio frequency power in plasmas : 14th Topical Conference : Oxnard, California 7-9 May 2001

著者

• Mau, Tak Kuen
• DeGrassie, John<>
• American Institute of Physics
• Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas

書誌事項

Radio frequency power in plasmas : 14th Topical Conference : Oxnard, California 7-9 May 2001

editors, Tak Kuen Mau, John deGrassie

（AIP conference proceedings, 595）

American Institute of Physics, c2001

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA55128437
• ISBN:
  • 0735400385
• LCCN: 01096021
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Melville, N.Y
• ページ数/冊数: xvi, 544 p.
• 大きさ: 25 cm
• 親書誌ID:
  • BA00284604