よくわかる半導体LSIのできるまで

Author(s)

    • 「半導体LSIのできるまで」編集委員会 ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ ヘンシュウ イインカイ

Bibliographic Information

よくわかる半導体LSIのできるまで

「半導体LSIのできるまで」編集委員会編著

日刊工業新聞社, 2001.12

Other Title

半導体LSIのできるまで : よくわかる

Title Transcription

ヨク ワカル ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ

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Description and Table of Contents

Description

本書は、高専や大学などで初めて半導体を学ぶ学生さん、或いは半導体関連実務の初心者を対象に書かれたもの。ＬＳＩの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説している。

Table of Contents

  • 第１章　半導体ＬＳＩとは
  • 第２章　半導体製造技術及び装置技術の動向
  • 第３章　設計工程
  • 第４章　ウェーハ製造工程
  • 第５章　フォトマスク製作工程
  • 第６章　ウェーハ処理工程（前工程）
  • 第７章　組立工程
  • 第８章　検査工程

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Details

  • NCID
    BA55240018
  • ISBN
    • 4526048569
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    166p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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