有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察
著者
書誌事項
有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察
纐纈明伯, 1996.3
- タイトル別名
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科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 平成7年度
- タイトル読み
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ユウキ キンゾク ゲンリョウ オ モチイル ゲンシソウ エピタキシー ノ マイクロ バランス ニ ヨル ソノ バ カンサツ
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注記
[課題番号] : 06452108