有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

Author(s)

    • 纐纈, 明伯 コウキツ, アキノリ

Bibliographic Information

有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

纐纈明伯研究代表者

纐纈明伯, 1996.3

Other Title

科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 平成7年度

Title Transcription

ユウキ キンゾク ゲンリョウ オ モチイル ゲンシソウ エピタキシー ノ マイクロ バランス ニ ヨル ソノ バ カンサツ

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Note

[課題番号] : 06452108

Details

  • NCID
    BA55708233
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [小金井]
  • Pages/Volumes
    90p
  • Size
    30cm
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