有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

著者

    • 纐纈, 明伯 コウキツ, アキノリ

書誌事項

有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

纐纈明伯研究代表者

纐纈明伯, 1996.3

タイトル別名

科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 平成7年度

タイトル読み

ユウキ キンゾク ゲンリョウ オ モチイル ゲンシソウ エピタキシー ノ マイクロ バランス ニ ヨル ソノ バ カンサツ

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注記

[課題番号] : 06452108

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA55708233
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [小金井]
  • ページ数/冊数
    90p
  • 大きさ
    30cm
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