有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

著者

• 纐纈, 明伯 コウキツ, アキノリ

書誌事項

有機金属原料を用いる原子層エピタキシーのマイクロバランスによるその場観察

纐纈明伯研究代表者

纐纈明伯, 1996.3

タイトル別名

科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 平成7年度

タイトル読み

ユウキ キンゾク ゲンリョウ オ モチイル ゲンシソウ エピタキシー ノ マイクロ バランス ニ ヨル ソノ バ カンサツ

注記

[課題番号] : 06452108

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA55708233
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [小金井]
• ページ数/冊数: 90p
• 大きさ: 30cm