酸化物イオンレジストによる極微細加工技術の開発と応用

著者

• 越田, 信義 コシダ, ノブヨシ

書誌事項

酸化物イオンレジストによる極微細加工技術の開発と応用

越田信義研究代表者

越田信義, 1991.3

タイトル別名

科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書 : 平成元年度〜2年度

タイトル読み

サンカブツ イオン レジスト ニ ヨル ゴクビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ ト オウヨウ

注記

[課題番号] : 01550304

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA55741793
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [小金井]
• ページ数/冊数: 45p
• 大きさ: 26cm