デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

著者

• 黒岩, 紘一 クロイワ, コウイチ

書誌事項

デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

黒岩紘一研究代表者

黒岩紘一, 1999.3

タイトル別名

科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 : 平成7年度〜平成9年度

タイトル読み

デジタル MOCVD ホウ ニ ヨル PZT キョウユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ

注記

[課題番号] : 07555418

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA55788480
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [小金井]
• ページ数/冊数: 122p
• 大きさ: 30cm