デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究
著者
書誌事項
デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究
黒岩紘一, 1999.3
- タイトル別名
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科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 : 平成7年度〜平成9年度
- タイトル読み
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デジタル MOCVD ホウ ニ ヨル PZT キョウユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
[課題番号] : 07555418