超細束イオンビームを用いた工業材料のナノスケール三次元分析装置の試作研究
著者
書誌事項
超細束イオンビームを用いた工業材料のナノスケール三次元分析装置の試作研究
二瓶好正, 2001.3
- タイトル別名
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平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書
文部省科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書
- タイトル読み
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チョウサイソク イオン ビーム オ モチイタ コウギョウ ザイリョウ ノ ナノ スケール サンジゲン ブンセキ ソウチ ノ シサク ケンキュウ
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注記
研究分担者: 坂本哲夫、石井秀司
研究課題番号: 11555226