次世代超高密度デバイス用極薄絶縁膜の開発
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次世代超高密度デバイス用極薄絶縁膜の開発
尾嶋正治, 2001.3
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平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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研究者: 藤岡洋,小野寛太,大渕博宣