高精細顕微干渉パターンの画像処理によるヘッド媒体すきま測定装置の開発

書誌事項

高精細顕微干渉パターンの画像処理によるヘッド媒体すきま測定装置の開発

三矢保永[ほか著]

[出版者不明], 2002.1

タイトル別名

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

コウ セイサイ ケンビ カンショウ パターン ノ ガゾウ ショリ ニヨル ヘッド バイタイ スキマ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ

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注記

課題番号:11555052

研究分担者:大島康司, 野村由司彦, 柳沢雅広

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA56350496
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [出版地不明]
  • ページ数/冊数
    46枚
  • 大きさ
    30cm
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