高精細顕微干渉パターンの画像処理によるヘッド媒体すきま測定装置の開発
著者
書誌事項
高精細顕微干渉パターンの画像処理によるヘッド媒体すきま測定装置の開発
[出版者不明], 2002.1
- タイトル別名
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平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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コウ セイサイ ケンビ カンショウ パターン ノ ガゾウ ショリ ニヨル ヘッド バイタイ スキマ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ
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注記
課題番号:11555052
研究分担者:大島康司, 野村由司彦, 柳沢雅広