量子効果を積極利用した薄膜SOI MOSFETの性能向上とばらつき低減の研究
著者
書誌事項
量子効果を積極利用した薄膜SOI MOSFETの性能向上とばらつき低減の研究
平本俊郎, 2001.3
- タイトル別名
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平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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リョウシ コウカ オ セッキョク リヨウシタ SOI MOSFET ノ セイノウ コウジョウ ト バラツキ テイゲン ノ ケンキュウ
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注記
研究分担者: 柴田直[ほか]