ディープサブミクロン配線のタイミング特性の研究

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ディープサブミクロン配線のタイミング特性の研究

研究代表者 桜井貴康

桜井貴康, 2001.3

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平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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ディープ サブ ミクロン ハイセン ノ タイミング トクセイ ノ ケンキュウ

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Note

研究分担者: 平本俊郎

Details

  • NCID
    BA56543037
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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