FeRAMを含むMOSキャパシタの応力効果の研究
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FeRAMを含むMOSキャパシタの応力効果の研究
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12-13年度)
[神田洋三], 2002.3
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FeRAM オ フクム MOS キャパシタ ノ オウリョク コウカ ノ ケンキュウ
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注記
研究課題番号: 12650019