MEMS and NEMS : systems, devices, and structures

著者

• Lyshevski, Sergey Edward

書誌事項

MEMS and NEMS : systems, devices, and structures

Sergey Edward Lyshevski

（Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series）

CRC, c2002

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA56739050
• ISBN:
  • 0849312620
• LCCN: 2001049944
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: 461 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875.L9597
  • DC21 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA5182498X