Chemical-mechanical polishing 2001 -- advances and future challenges : symposium held April 18-20, 2001, San Francisco, California, U.S.A.
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Chemical-mechanical polishing 2001 -- advances and future challenges : symposium held April 18-20, 2001, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 671）
Materials Research Society, c2001
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注記
Includes bibliographical references and indexes
