Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies

著者
    • NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies
書誌事項

Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies

edited by Yves Pauleau

(NATO science series, Sub-series II, Mathematics, physics and chemistry ; v. 55)

Kluwer Academic, c2002

  • : pb

タイトル別名

Proceedings of the NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 September, 2001

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詳細情報
  • NII書誌ID(NCID)
    BA57112551
  • ISBN
    • 1402005245
    • 1402005253
  • 出版国コード
    ne
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Dordrecht
  • ページ数/冊数
    xiii, 363 p.
  • 大きさ
    25 cm
  • 親書誌ID
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