Introduction to microelectronic fabrication

著者

• Jaeger, Richard C.

書誌事項

Introduction to microelectronic fabrication

by Richard C. Jaeger

（Modular series on solid state devices, v. 5）

Prentice Hall, c2002

2nd ed

注記

Includes index

• NII書誌ID(NCID): BA57250056
• ISBN:
  • 0201444941
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Upper Saddle River, NJ
• ページ数/冊数: xiv, 316 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC19 : 621.381/73
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA00909134