:Handbook of silicon semiconductor metrology

著者

• Diebold, A. C. (Alain C.)

書誌事項

:Handbook of silicon semiconductor metrology

edited by Alain C.Diebold

Marcel Dekker, c2001

注記

Includes bibliographicl references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA57286064
• ISBN:
  • 0824705068
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xvi, 874 p.
• 大きさ: 27 cm