シェリンクフィッタを用いた超高分解能ドライプロセスセッターの試作研究

Author(s)

    • 新田, 勇 ニッタ, イサミ

Bibliographic Information

シェリンクフィッタを用いた超高分解能ドライプロセスセッターの試作研究

研究代表者新田勇

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10年度〜平成11年度）

[新田勇], 2001.3

Title Transcription

シェリンク フィッタ オ モチイタ チョウコウブンカイノウ ドライ プロセス セッター ノ シサク ケンキュウ

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Note

課題番号: 10555050

研究分担者: 大橋修, 原利昭

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Details

  • NCID
    BA57337937
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [新潟]
  • Pages/Volumes
    7, 35, [2]枚
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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