Optical microscanners and microspectrometers using thermal bimorph actuators

著者

    • Lammel, Gerhard
    • Schweizer, Sandra
    • Renaud, Philippe

書誌事項

Optical microscanners and microspectrometers using thermal bimorph actuators

by Gerhard Lammel, Sandra Schweizer and Philippe Renaud

（Microsystems / series editor Stephen D. Senturia, 8）

Kluwer Academic Publishers, c2002

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注記

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  • Microsystems

    series editor Stephen D. Senturia

    Kluwer Academic Publishers 1999

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA57451047
  • ISBN
    • 0792376552
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Boston
  • ページ数/冊数
    xii, 268 p.
  • 大きさ
    25 cm
  • 親書誌ID
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