微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化 : マイクロプラズマチップの創製

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微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化 : マイクロプラズマチップの創製

研究代表者、寺嶋和夫

寺嶋和夫, 2002.3

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平成12〜13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

ビショウ プラズマ ザイリョウ プロセシング ソウチ ノ コウシュウセキカ : マイクロ プラズマ チップ ノ ソウセイ

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Note

研究課題番号: 12555185

Details

  • NCID
    BA57491391
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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