微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化 : マイクロプラズマチップの創製

著者

• 寺嶋, 和夫 テラシマ, カズオ

書誌事項

微小プラズマ材料プロセシング装置の高集積化 : マイクロプラズマチップの創製

研究代表者、寺嶋和夫

寺嶋和夫, 2002.3

タイトル別名

平成12〜13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ビショウ プラズマ ザイリョウ プロセシング ソウチ ノ コウシュウセキカ : マイクロ プラズマ チップ ノ ソウセイ

注記

研究課題番号: 12555185

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA57491391
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm